나노 구리 산화막 재료는 가스 감지 특성이 우수합니다. 막이 조성과 농도가 다른 가스에 노출되면 그에 따라 저항률이 변합니다. 일반적으로 환원 가스가 필름 표면에 흡착되면 저항률이 환원 반응으로 인해 필름이 감소합니다. 가스 농도가 높을수록 저항률이 낮아집니다. 반대로 산화성 가스가 피막 표면에 흡착되면 산화에 의한 것으로 가스 농도가 증가함에 따라 피막 저항이 증가하는 특성에 따라 다양한 가스 센서를 제작할 수 있습니다. 산화물은 전형적인 표면 제어 가스에 민감한 물질입니다. 일반적으로 입자 크기가 작을수록 비 표면적이 클수록 산소 흡착 용량이 커지고 물질의 가스 민감도가 높아집니다. 또한, 귀금속이 혼입 또는 코팅 된 귀금속 촉매 코팅은 감도와 선택성을 향상시킬 수 있으며, 스퍼터링 법으로 제조 된 나노 구리 산화막은 h2, no2, co에 매우 민감하며 특히 no2에 대한 민감도가 높습니다. 저온에서; Al- 도핑 된 나노-구리 산화막은 400 ℃에서 co에 대한 감도가 61.6 %에 도달 할 수 있습니다.

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