EDS는 어떻게 가벼운 원소의 스펙트럼선을 식별하는가? 에너지 분산형 X선 분광법(EDS)은 보통 주사전자현미경이나 투과전자현미경에 장착됩니다. 입사 전자가 시료 원자에서 안쪽 껍질 전자를 튀어나오게 하고, 그러면 바깥쪽 전자가 빈자리에 떨어지며 두 준위 사이의 에너지 차이가 특성 X선으로 방출됩니다. 실리콘 드리프트 검출기(SDD)는 각 광자의 에너지를 측정하고 에너지별로 카운트를 누적하여, 가로축에는 에너지, 세로축에는 카운트가 표시되는 스펙트럼을 생성합니다. 피크 위치는 원소를 식별하는 반면, 연속 배경을 뺀 후의 순 피크 강도는 표준 물질과 비교하고 세 가지 매트릭스 효과(원자번호, 흡수, 형광)에 대해 보정한 후에야 농도로 변환될 수 있습니다. 하나의 껍질 내에서는 원자번호가 감소함에 따라 선 에너...
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