주사전자현미경(SEM)SEM은 현대 과학이 미시 세계를 탐구하는 데 핵심적인 도구입니다. 고해상도 전자 이미징 기술을 통해 물질의 미시적 구조에 대한 통찰력을 얻을 수 있도록 함으로써 과학 연구 및 산업 응용 분야에서 대체할 수 없는 역할을 합니다. SEM은 고에너지 전자빔으로 시료 표면을 스캔하여 전자와 시료 사이의 상호작용으로 생성되는 2차 전자, 후방 산란 전자, X선 등의 신호를 수집하여 시료 표면의 상세한 형태, 구성 및 구조 정보를 얻습니다. 이 기술은 기존 광학 현미경보다 높은 해상도를 제공하여 나노입자, 바이러스, 세포 소기관과 같은 나노 크기의 미세 구조를 관찰할 수 있도록 합니다. SEM의 구성 요소 및 이미징 프로세스 SEM은 전자총, 전자기 렌즈, 주사 코일, 시료 챔버, 검출기 등의 ...
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주요 제한 사항TEM 성능구면 수차(수차라고도 함), 색 수차, 그리고 비점 수차가 있습니다. 구면 수차와 색 수차는 기존 TEM의 분해능을 제한합니다. 이 두 가지 결함은 모두 정적 회전 대칭 전자기장을 사용할 때 불가피합니다. 볼 수차는 대물렌즈의 성능을 결정하는 가장 중요한 요소입니다. 샘플이 두꺼울수록 색상 차이가 더 심해집니다. 이 문제를 줄이려면 샘플을 더 얇게 만드는 것이 가장 좋습니다. 산란은 상의 초점 성능에 영향을 미칠 수 있지만 완전히 보정할 수 있습니다. 구면 수차는 렌즈 필드가 축외 광선에 미치는 불균일한 효과로 인해 발생합니다. 즉, 광축에 "평행"하지만 광축으로부터 거리가 다른 광선은 같은 지점에 모일 수 없습니다. 전자가 광축에서 더 많이 벗어날수록 축 쪽으로 더 강하게 휘어집니...
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