주요 제한 사항TEM 성능구면 수차(수차라고도 함), 색 수차, 그리고 비점 수차가 있습니다. 구면 수차와 색 수차는 기존 TEM의 분해능을 제한합니다. 이 두 가지 결함은 모두 정적 회전 대칭 전자기장을 사용할 때 불가피합니다. 볼 수차는 대물렌즈의 성능을 결정하는 가장 중요한 요소입니다. 샘플이 두꺼울수록 색상 차이가 더 심해집니다. 이 문제를 줄이려면 샘플을 더 얇게 만드는 것이 가장 좋습니다. 산란은 상의 초점 성능에 영향을 미칠 수 있지만 완전히 보정할 수 있습니다. 구면 수차는 렌즈 필드가 축외 광선에 미치는 불균일한 효과로 인해 발생합니다. 즉, 광축에 "평행"하지만 광축으로부터 거리가 다른 광선은 같은 지점에 모일 수 없습니다. 전자가 광축에서 더 많이 벗어날수록 축 쪽으로 더 강하게 휘어집니...
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